Росатом запускает производство особо чистого гексафторида вольфрама для микроэлектроники

Росатом создаст первое в России производство особо чистого гексафторида вольфрама Этот газ используется в микроэлектронике. Например, при создании полупроводников для осаждения металлического слоя вольфрама из газовой фазы. Такой слой отличается высокой химической и термостабильностью, низким сопротивлением и служит защитой для плат и схем. Участок появится в НПО «Луч». В настоящий момент идут работы по проектированию. «Удалось создать уникальное оборудование для оснащения нового производства. Изготовлены лабораторная и опытная установки сорбционной очистки гексафторида вольфрама, опытная установка ректификационной очистки. Также в настоящее время завершены разработка и аттестация методик измерений газовых и металлических примесей в особо чистом гексафториде вольфрама», — подчеркнул гендиректор НПО «Луч» Павел Карболин. Алексей Башкиров / «Страна Росатом» #новости

ПРО вольфрам «Росатом» разработал технологию изготовления особо чистого гексафторида вольфрама - вещества. Он используется в микроэлектронике, например, при производстве полупроводников для осаждения металлического слоя вольфрама из газовой фазы. Этот слой отличается высокой химической и термостабильностью, низким сопротивлением и служит защитой для плат и схем. Также гексафторид вольфрама применяется для получения покрытий и изделий из высокочистого вольфрама методами газофазной металлургии водородное восстановление, химические транспортные реакции . Сегодня Россия его поставляет из-за рубежа, сообщила атомная госкорпорация. В настоящее время идут работы по проектированию первого в России производственного участка по выпуску особо чистого гексафторида вольфрама. Он будет включать полную цепочку технологического и аналитического оборудования для производства этого вещества. #вольфрам

Специалисты НПО "ЛУЧ" создали полную цепочку оборудования для производства особо чистого гексафторида вольфрама. Это вещество используется в микроэлектронике и других особо точных производствах. "АО "НИИ НПО "ЛУЧ" в сотрудничестве с российскими учеными и отечественными предприятиями создало полную цепочку технологического и аналитического оборудования для производства особо чистого гексафторида вольфрама с его содержанием не менее 99,999 массового процента. В настоящее время ведутся работы по проектированию и строительству первого в России производственного участка для этого продукта", - отметили в преcс-службе НИИ НПО "ЛУЧ".

На предприятии «Росатома» будет создан первый в России производственный участок по изготовлению особо чистого гексафторида вольфрама Сотрудники Научно-исследовательского института научно-производственного объединения «Луч» АО «НИИ НПО «Луч», Подольск, входит в Научный дивизион госкорпорации «Росатом» разработали технологию и аппаратурно-технологическую схему изготовления особо чистого гексафторида вольфрама. Создание нового участка для производства гексафторида вольфрама в России направлено на импортозамещение. Изготовлены лабораторная и опытная установки сорбционной очистки гексафторида вольфрама, опытная установка ректификационной очистки. Также в настоящее время завершены разработка и аттестация методик измерений газовых и металлических примесей в особо чистом гексафториде вольфрама, — подчеркнул генеральный директор АО «НИИ НПО «Луч» Павел Карболин. Особо чистый гексафторид вольфрама используется в микроэлектронике, например, при производстве полупроводников для осаждения металлического слоя вольфрама из газовой фазы. ⏺подписаться

Росатом создаст первое в России производство по изготовлению особо чистого гексафторида вольфрама Вещество используется в микроэлектронике, например, при производстве полупроводников для осаждения металлического слоя вольфрама из газовой фазы. Чтобы было понятнее, этот слой отличается высокой химической и термостабильностью, низким сопротивлением и служит защитой для плат и схем. По уже сложившейся традиции производство будет импортозамещающим. Пока страна не может отказаться от импорта этого вещества. — потихоньку все заменим начинается с завода

Широкий выбор свежих продуктов и нужных товаров с гарантией минимальной цены.

Ученые «Росатома» разработали технологию изготовления особо чистого гексафторида вольфрама Сейчас идет проектированию первого в России производственного участка по выпуску этого соединения. Он будет включать полную цепочку технологического и аналитического оборудования для производства гексафторида вольфрама. «Нам далось создать уникальное оборудование для оснащения нового производства. Изготовлены лабораторная и опытная установки сорбционной очистки гексафторида вольфрама, опытная установка ректификационной очистки. Также в настоящее время завершены разработка и аттестация методик измерений газовых и металлических примесей в особо чистом гексафториде вольфрама. Наши научные разработки способствуют развитию импортозамещения, позволяют достичь технологического суверенитета страны», – подчеркнул генеральный директор НИИ НПО «Луч» Павел Карболин. Особо чистый гексафторид вольфрама используется в микроэлектронике, например, при производстве полупроводников для осаждения металлического слоя вольфрама из газовой фазы. Этот слой отличается высокой химической и термостабильностью, низким сопротивлением и служит защитой для плат и схем. Также гексафторид вольфрама применяется для получения покрытий и изделий из высокочистого вольфрама методами газофазной металлургии водородное восстановление, химические транспортные реакции . Подписывайтесь на «Росатом» Оставляйте «бусты» #новость #УченыеРосатома #РосатомНаука

Специалисты НПО "ЛУЧ" создали полную цепочку оборудования для производства особо чистого гексафторида вольфрама. Это вещество используется в микроэлектронике и других особо точных производствах. "АО "НИИ НПО "ЛУЧ" в сотрудничестве с российскими учеными и отечественными предприятиями создало полную цепочку технологического и аналитического оборудования для производства особо чистого гексафторида вольфрама с его содержанием не менее 99,999 массового процента. В настоящее время ведутся работы по проектированию и строительству первого в России производственного участка для этого продукта", - отметили в преcс-службе НИИ НПО "ЛУЧ".

Росатом наладил выпуск особо чистого гексафторида вольфрама. ‍ Специалисты АО «НИИ НПО «ЛУЧ», входящего в научный дивизион «Росатома», создали полную цепочку оборудования, необходимого для производства особо чистого гексафторида вольфрама с его содержанием не менее 99,999 массового процента. В настоящее время ведутся работы по проектированию и строительству первого в России производственного участка для этого продукта. Директор НПО «ЛУЧ» Павел Карболин отметил, что на данный момент компанией изготовлены лабораторная и опытная установки сорбционной очистки гексафторида вольфрама, а также опытная установка ректификационной очистки. Помимо этого уже завершены разработка и аттестация методик измерений газовых и металлических примесей в получаемом продукте. Отметим, что гексафторид вольфрама широко используют в микроэлектронике для нанесения тонких металлических слоёв, отличающихся низким сопротивлением, высокой химической и термостабильностью, что служит защитой для плат и схем. Также его применяют в газофазной металлургии для создания термостойких покрытий. Химпром

Материалы. Локализация производства. WF₆ Россия В России в ближайшее время планируют наладить промышленное производство особочистого гексафторида вольфрама для микроэлектроники В подольском НИИ НПО Луч Росатом в 2023-2024 годах разработали технологию выпуска и создали опытные установки для сорбционного и ректификационного этапов очистки гексафторида вольфрама WF₆ . Это соединение в особочистом варианте используется, в том числе, в производстве микроэлектроники. WF₆ вступает в реакции с кремнием, водородом, силаном и германом GeH₄ . В частности, соединение используется в химическом осаждении из паровой фазы CVD для создания металлических контактов и тонких межсоединений в некоторых микросхемах, благо вольфрам обладает низким сопротивлением и высокой температурной стабильностью. Его используют в формировании электродов затворов, в 3D-структурах NAND-памяти. До 2022 года высокочистый WF₆ в Россию в основном импортировали. Среди известных в мире поставщиков отмечу: Merck Group Versum Materials , Германия; Solvay, Бельгия; American Elements, США; Kanto Denka Kogyo, Япония и другие. Очевидно, что это компании «западного блока», что затрудняет закупки в условиях санкций. В этих условиях потребовалось решить задачу локализации производства, и она, как видим, решается. Идет проектирование площадки, где гексафторид вольфрама планируется выпускать в промышленных масштабах, включая высокочистый. Причем как производственное оборудование, так и аналитическое оборудование отдельная "головная боль" , как планируется, будет российским. Когда могут запустить пилотную линию? В теории ничто не должно помешать сделать это в 2025-2026 году, и если сроки и сдвинутся «вправо», то вряд ли существенно. У Луча есть немалая экспертиза в области материаловедения и подобных разработок. Занимаются здесь далеко не только гексафторидом вольфрама, но и, например, разработкой установки выращивания кристаллов высокоомного кремния, в рамках решения задач, поставленных Минпромторгом. по материалам Росатом