Россия запускает производство лазеров для чипов с целью замены импортных компонентов

В России разрабатывают лазеры для замены в иностранных литографах. Минпромторг предлагает 175 млн рублей за разработку и освоение производства гелий-неоновых лазеров и фотоприемников для систем позиционирования оборудования, применяемого в производстве интегральных схем с топологическими нормами до 65 нм. Соответствующий тендер появился на сайте госзакупок. Разработка необходима для замены лазеров и фотоприемников производства фирмы Keysight в зарубежном оборудовании Nikon и ASML, а также в действующем и разрабатываемом отечественном оборудовании, применяемом в производстве ИС с проектными нормами до 65 нм. Лазеры нужны для того, чтобы с высокой точностью позиционировать положение активных частей установки относительно полупроводниковой пластины. Как и всегда в подобных госзакупках, комплектующие и материалы изделия должны быть отечественного производства и обеспечивать отсутствие критической зависимости от иностранных производителей.

Минпромторг заказал разработку лазеров и фотоприемников, применяемых в производстве интегральных схем по топологии до 65 нм. Такое оборудование отвечает за точное нанесение рисунка на поверхности материала. Его аналог производится в США и используется в установках Nicon и ASML. Комплект будет установлен в действующие литографические степперы и сканеры Nikon серий SF 204 - 206, i-11, i-12, ASML серии PAS-5500, а также генераторы изображений топологических структур на фотошаблонах.

В России разработают лазеры для производства чипов для установок Nikon и ASML Минпромторг заказал разработку и освоение производства гелий-неоновых лазеров и фотоприемников для систем позиционирования оборудования, применяемого в производстве интегральных схем ИС с топологическими нормами до 65 нм. Соответствующий тендер был опубликован на портале госзакупок в ноябре 2024 г. Разрабатываемый комплект предназначен для замены лазеров модели 5517C и фотоприемников моделей E1709A и 10780F производства американской фирмы Keysight в зарубежном оборудовании, а также в действующем и разрабатываемом отечественном оборудовании. Комплект будет установлен в действующие литографические степперы и сканеры Nikon серий SF 204 - 206, i-11, i-12, ASML серии PAS-5500, а также генераторы изображений топологических структур на фотошаблонах

Забирай эксклюзивное предложение для пользователей Tek.fm *Предложение ограничено

Господдержка. Производственное оборудование. Лазеры Минпромторг заказал разработку гелий-неоновых лазеров 632нм для фотолитографов и другого оборудования, используемого в производстве микросхем Разработка призвана заменить лазеры модели 5517C и фотоприемников моделей E1709A и 1780А американской компании Keysight, применяемых в зарубежном фотолитографическом оборудовании компаний Nikon SF 204-206, i-11, i-12 и ASML PAS-5500 и в оборудовании контроля фотошаблонов и контроля дефектов пластин с выращенными полупроводниковыми структурами. Такие лазеры используются в системах позиционирования, это не основной источник излучения, используемый для засветки фоторезиста в процессе производства полупроводниковых структур. Разработчик должен будет использовать комплектующие и материалы отечественного производства. по материалам CNews #господдержка #лазеры

Минпромторг заказал разработку лазеров и фотоприемников, применяемых в производстве интегральных схем по топологии до 65 нм. Такое оборудование отвечает за точное нанесение рисунка на поверхности материала. Его аналог производится в США и используется в установках Nicon и ASML. Комплект будет установлен в действующие литографические степперы и сканеры Nikon серий SF 204 - 206, i-11, i-12, ASML серии PAS-5500, а также генераторы изображений топологических структур на фотошаблонах.

В России разработают лазеры для производства чипов для установок Nikon и ASML Минпромторг заказал разработку и освоение производства гелий-неоновых лазеров и фотоприемников для систем позиционирования оборудования, применяемого в производстве интегральных схем с топологическими нормами до 65 нм. Разрабатываемый комплект предназначен для замены лазеров модели 5517C и фотоприемников моделей E1709A и 10780F производства американской фирмы Keysight в зарубежном оборудовании, а также в действующем и разрабатываемом отечественном оборудовании. Комплект будет установлен в действующие литографические степперы и сканеры Nikon серий SF 204 - 206, i-11, i-12, ASML серии PAS-5500, а также генераторы изображений топологических структур на фотошаблонах. Помимо этого, комплект заменят в оптических установках контроля координат топологических элементов и критических размеров структур на фотошаблонах. И еще он будет стоять в установках контроля дефектности на полупроводниковых пластинах AMAT Compass, лазерного устранения недопустимых дефектов на фотошаблонах и установки электронно-лучевой литографии. Комплектующие изделия и материалы должны быть отечественного производства и обеспечивать отсутствие критической зависимости от иностранных производителей. Работы выполняются в рамках госпрограммы «Научно-технологическое развитие Российской Федерации».